真空泵是真空系統的主體設備，西湖真空設備廠在多年試驗研究和推廣應用的基礎上，已初步形成了兩大系列產品：全蒸汽噴射真空泵系列和蒸汽噴射－水環真空泵系列。全蒸汽噴射真空泵系列是以一定壓力的水蒸氣和冷卻水為泵的工作介質，蒸汽噴射－水環真空泵是以一定壓力，相對較少的水蒸汽和冷卻水作為工作介質，并耗用少量電能。
全蒸汽噴射真空泵的蒸汽耗量較大，需配置較大的鍋爐，但真空設備本體造價較低；蒸汽噴射－水環真空泵的蒸汽耗量較小，可配置較小的鍋爐，但真空設備本體造價較高，兩者均能充分滿足鋼水爐外精練的要求。
其中，RH真空循環精煉法和VD/VOD鋼包真空精煉均是多功能精煉方法。前者對鋼水的攪拌功能更強，且對鋼水有一定的加熱功能，但造價高，結構較復雜；后者如能將鋼包底吹氬合理強化，仍能達到對鋼水充分攪拌，得到理想的動力學條件和效果；如果VD與LF雙聯，則可達到理想的鋼水精煉溫度，且結構簡單，造價較低。RH適用較大的爐容量（≥80噸），LF/VD的爐容量一般沒有限制，可小至數噸。兩種方法均具有真空下脫[H],脫[N]，脫[S]，脫[O]，以及真空碳脫氧（VCD）,真空氧脫碳（VOD）功能，均能達到精煉超純凈鋼的效果。